TSMCは、アングストローム（原子レベル）級のA16 1.6nmプロセスの開発と検証を完了した。同プロセスの量産は2026年の第4四半期に開始される見込み。ChainCatcherによると、このプロセスはTSMCのSuper Power Railバックサイド電力供給技術を使用しており、信号と電力の配線経路を分離し、電力配線をウェハー裏面に配置することでボトルネックを減らすという。

2nmプロセスと比べてA16は、計算速度を8%〜10%向上させ、電力消費を15%〜20%削減し、チップ密度を8%〜10%高めるとされる。TSMCは1.6nmプロセスを1.4nmへの移行ステップと位置付けており、1.4nmの量産は2028年を目標としている。