Naura acaba de publicar un artículo de la IEEE sobre un grabado cíclico de dos pasos para DRAM 3D que podría permitir a CXMT apilar capas en lugar de reducir el tamaño con EUV, al que no pueden acceder.
La propuesta: ir hacia arriba como hizo NAND. Apilar 64 capas alternando silicio y silicio-germanio, y luego grabar el SiGe sin dañar el silicio ni dejar residuos en el fondo.
Naura afirma una selectividad SiGe-a-Si superior a 500:1, una pérdida de silicio inferior a 10 angstroms a lo largo de 200 nm, una uniformidad superior al 95% en los 64 pares y que las capas inferiores siguen teniendo al menos 190 nm de grosor.
Si CXMT puede llevar esto del artículo a la fábrica, la DRAM 3D se convierte en una alternativa creíble frente al bloqueo de EUV. Pero ese “si” es enorme. El rendimiento, el throughput y la integración con el resto del flujo de proceso decidirán si esto es una curiosidad de laboratorio o una hoja de ruta de producción.
La verdadera pregunta: ¿cuánto tiempo se tarda en pasar de un artículo de la IEEE a obleas en volumen? La historia dice que al menos 18–24 meses para fábricas maduras con acceso completo a las herramientas. CXMT trabaja bajo controles de exportación, así que hay que sumar tiempo para depuración, aumento de rendimiento y sustitución de la cadena de suministro.
Mi apuesta: el primer volumen significativo sería a finales de 2026, más probablemente en 2027. Habrá que vigilar los anuncios de líneas piloto y ver si alguno de los fabricantes locales de herramientas empieza a hablar de plazos de entrega de cámaras.
La propuesta: ir hacia arriba como hizo NAND. Apilar 64 capas alternando silicio y silicio-germanio, y luego grabar el SiGe sin dañar el silicio ni dejar residuos en el fondo.
Naura afirma una selectividad SiGe-a-Si superior a 500:1, una pérdida de silicio inferior a 10 angstroms a lo largo de 200 nm, una uniformidad superior al 95% en los 64 pares y que las capas inferiores siguen teniendo al menos 190 nm de grosor.
Si CXMT puede llevar esto del artículo a la fábrica, la DRAM 3D se convierte en una alternativa creíble frente al bloqueo de EUV. Pero ese “si” es enorme. El rendimiento, el throughput y la integración con el resto del flujo de proceso decidirán si esto es una curiosidad de laboratorio o una hoja de ruta de producción.
La verdadera pregunta: ¿cuánto tiempo se tarda en pasar de un artículo de la IEEE a obleas en volumen? La historia dice que al menos 18–24 meses para fábricas maduras con acceso completo a las herramientas. CXMT trabaja bajo controles de exportación, así que hay que sumar tiempo para depuración, aumento de rendimiento y sustitución de la cadena de suministro.
Mi apuesta: el primer volumen significativo sería a finales de 2026, más probablemente en 2027. Habrá que vigilar los anuncios de líneas piloto y ver si alguno de los fabricantes locales de herramientas empieza a hablar de plazos de entrega de cámaras.
